为更好地支持国内外科研机构及企业获取定制化的原型(prototype)Epitaxial Quenching Resistor (EQR) SiPM, Position Sensitive (PSS) SiPM, APD, PIN器件,新器件实验室(NDL)携手中京光电(Capital Photonics Co., Ltd.),将于 2026 年第一季度正式推出多项目晶圆(MPW)服务。
若您希望参与某一轮次的 MPW 服务,请在数据提交截止日期前至少 5 个工作日提交预约申请,完成所需清单填写、签署服务协议并结清款项。请注意,MPW服务采用先到先得的原则。若某一轮次的参与人数不足或超出承载容量,您的项目可能会调整至下一个可用轮次。
| 技术类型 | 晶圆尺寸 | 生产方式 | 3月 | 7月 | 10月 |
|---|---|---|---|---|---|
| EQR SiPM, PSS SiPM, APD, PIN | 6-inch | 按订单数量生产 | 13日 | 3日 | 30日 |
定制器件的有源区面积,微单元节距,阵列规格列于下表中:
| 定制器件 | 微单元节距 | 有源区面积 | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| (0.5-9.5)×9.5 mm² | 6×6 mm² | 3×3 mm² | 1×1 mm² | 0.75×0.5 mm² | 0.5×0.5 mm² | 0.25×0.25 mm² | ||
| EQR/PSS SiPM | 20 μm | 1×1、1×6 | NA* | NA* | 3×3 、1×16 | 1×32 | 4×32 | 8×64 |
| 15 μm | 1×1、1×6 | 1×1 | NA* | 3×3 、1×16 | 1×32 | 4×32 | 8×64 | |
| 10 μm | NA | NA | 1×1 | 3×3 、1×16 | 1×32 | 4×32 | 8×64 | |
| APD/PIN | / | 1×1、1×6 | 1×1 | 1×1 | 1×16 | 1×32 | NA | NA |